硅具有散熱性好、強度高、價格適中、純度高、耐腐蝕等優(yōu)點。隨著微電子技術的發(fā)展，硅材料的加工技術日趨成熟。硅材料首先用于生產這種產品。由于其良好的光潔度和成熟的加工工藝，可用于微泵、微閥、模具等器件。到目前為止，玻璃已經廣泛應用于該芯片的生產中，采用光刻和蝕刻技術可以將微通道網絡化在玻璃材料上，其優(yōu)點是具有一定的強度，散熱性、透光性和絕緣性都比較好，非常適合于通常的樣品分析。

　　微流控芯片采用類似半導體的MEMS技術在芯片上構建微流控系統(tǒng)。將實驗和分析過程轉移到由互連通道和液室組成的芯片結構上。在裝載生物樣品和反應液后，使用微機械泵。

　　電液泵和電滲流驅動緩沖液在芯片內流動形成微流道，在芯片上進行一個或多個連續(xù)反應。激光誘導熒光（LIF）、電化學和化學檢測系統(tǒng)以及與質譜聯(lián)用的多種檢測方法已被應用于流控芯片中，以實現(xiàn)對樣品的快速、準確和高通量分析。

　　微反應器通常用于芯片實驗室的生化反應，如毛細管電泳、聚合酶鏈反應、酶反應和DNA雜交等。其中，電壓驅動毛細管電泳易于在微流控芯片上實現(xiàn)，已成為發(fā)展快的技術。在芯片上刻蝕毛細管通道，樣品溶液在電滲流的作用下在通道中游動，完成樣品的檢測和分析。如果在芯片上構建毛細管陣列，可以在幾分鐘內完成數(shù)百個樣品的并行分析。